臭氧發(fā)生器是一個(gè)內(nèi)熱發(fā)生的氣相反應(yīng)器。由于空氣體等類似氣體是不良的熱導(dǎo)體，電暈放電產(chǎn)生的熱量會(huì)使氣體溫度升高，更高的溫度會(huì)加速臭氧的逆反應(yīng)，即臭氧被還原為氧氣，從而降低臭氧產(chǎn)量。因此，有效的冷卻也是提高臭氧發(fā)生器效率的措施。

有效冷卻也是提高臭氧發(fā)生器效率的措施。由于水和油的吸熱系數(shù)遠(yuǎn)大于空氣體，工業(yè)臭氧發(fā)生器一般采用水冷或油冷臭氧發(fā)生器。由于空氣冷卻方便易行，這種形式常用于微型臭氧發(fā)生器。
對(duì)于采用水冷方式的臭氧發(fā)生器，應(yīng)考慮冷卻水的水質(zhì)，防止冷卻水結(jié)垢，以免影響臭氧發(fā)生器的散熱效果，從而降低臭氧的輸出，增加維護(hù)成本。因此，如果冷卻水質(zhì)量差，就需要增加板式冷卻器。